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2024.05.27 新製品情報

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus 日立ハイテク

大型で重量のある試料をナノレベルまで高精度かつ効率的な観察を可能にした高分解能ショットキー走査電子顕微鏡が新発売! FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。

■特長

〇できることの拡大、大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM

 非導電性試料に対しては、導電性処理(金属コーティング)をすることなく、且つ大型重量物試料に対しては切断等の破壊処理をせずそのまま試料台に搭載して、多角度からの観察が可能となる高剛性多目的試料室を有しています。

〇見えなかったものが見える、一つ上の高分解能・極表面観察

 高加速電圧・低加速電圧いずれの領域においても解像度を向上。また、組成・凹凸情報の取得には取得信号切替可能な低加速高感度反射電子検出器も標準搭載。

〇ユーザビリティーを支える、自動化・サポート機能

 光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します

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