科学機器専門商社の株式会社ローラン

■特長

〇リンケージシステムを補完するAFMマーキング機能の搭載

　AFMで観察した箇所の周囲に、SEMやCSIなどの解析装置での観察時に目印となるスクラッチマークを作製します。これにより、試料や観察装置のサイズに関わらず、さまざまな装置で測定場所を確実にとらえ、観察の簡易化と高精度化を実現します。

〇電位測定モード(FM-KFM)追加による高精度分析を実現

　新たに周波数変調ケルビンプローブフォース顕微鏡(FM-KFM)による電位測定モードを追加しました。FM-KFMはAM-KFMに比べて探針先端の電位の検出感度が高く電位の定量性が優れます。単一材料間での電位や仕事関数比較などに優位なAM-KFMと、微細な周期構造を持つような定量性が求められる複合材料計測時に適したFM-KFMを、目的に応じてワンクリックで切り替えることが可能です。AFMとSEMの併用による分析のケースが多い半導体や金属材料を中心とした試料の観察において、より高精度な分析業務に貢献します。

〇故障診断機能追加による装置持続性向上を実現

　不具合が発生した際に要因を自動で診断可能なセルフチェック機能を標準搭載し、高いパフォーマンスを維持しながら装置を長く使い続けるための管理方法などをユーザー自身で把握することが可能になります。