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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

従来機種のSU8240, SU8230, SU8220, およびSU8010を新たなプラットフォームに統合し、Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100として生まれ変わりました。
「Regulus シリーズ 」は、SU8200シリーズで採用されたコールドFE電子銃を搭載し*1、低ノイズの電子ビームで安定した照射電流は、観察・分析双方によりクオリティの高いデータを提供します。
観察性能は光学系の最適化により、Regulus8240/8230/8220の分解能は1 kVで0.7 nm、Regulus8100では0.8 nmに向上しました。
また超高分解能観察能力を十分に発揮させるため、倍率は従来の100万倍から200万倍まで拡張しました*1。
その他、複雑化している信号検出機能の理解を補助する機能など、高い性能を十分に使用していただくためのユーザーサポート機能も強化しています。
*1 Regulus8240/8230/8220のみ

メーカー
株式会社日立ハイテクノロジーズ
カテゴリ
  • ラボ用分析機器
  • 電磁気分析装置
製品の特長

・「SU8200シリーズ」に採用したコールドFE電子銃を継承*2
・フラッシング直後の高輝度安定領域を使用することによる低加速電圧での高分解能観察と分析を両立
・コンタミネーションの影響を軽減させた高真空試料室
・Topフィルター機能(オプション)による、さまざまな材料コントラストの可視化機能*2
*2 Regulus8240/8230/8220のみ

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