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イオンミリング装置 IM4000PLUS

イオンミリング装置 IM4000PLUS

IM4000PLUSは、断面ミリングと平面ミリング(フラットミリング®*1)に対応したハイブリッドタイプのイオンミリング装置です。これにより、試料内部構造観察や各種分析など、さまざまな評価目的に応じた試料作製が可能です。
*1フラットミリング®は、日本国内における株式会社日立ハイテクの登録商標です。

メーカー
株式会社日立ハイテクノロジーズ
カテゴリ
  • その他のラボ用分析機器
製品の特長

・高スループット断面ミリング
 断面ミリングレート500 µm/h*2以上の高レートイオンガンを搭載しているので硬質材料においても高スループットで断面試料を作製できます。
 *2加速電圧6 kV、マスクエッジからSiを100 µm突出させて1時間加工した際の最大深さ
・断面ミリング
 ・硬度やミリングレートが異なる組成で構成される複合材料でも平滑な断面試料を作製可能
 ・加工条件の最適化でダメージを軽減
 ・最大20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)の試料を搭載可能
・断面ミリングの主な用途
 ・金属や複合材料、高分子など、各種試料の断面作製
 ・亀裂やボイドなどの欠陥解析のための断面作製
 ・積層界面や結晶情報の評価・観察・分析のための断面作製
・フラットミリング®
 ・直径約5 mmの範囲を均一に加工
 ・目的にあわせた幅広い用途に利用可能
 ・最大直径50 mm × 厚さ25 mmの試料を搭載可能
 ・ローテーション加工とスイング(±60度~±90度の反転)加工の2種類が選択可能
・フラットミリング®の主な用途
 ・機械研磨では除去が難しい細かな傷および歪み除去
 ・試料表面層の除去
 ・FIB加工ダメージ除去
・日立SEMとの試料リンケージ
 ・試料は試料台から取り外すことなくSEMで観察できます。
 ・ドローアウト式の日立SEMには、断面・平面ミリングホルダを試料ごとセットできるので、SEMで観察後、必要に応じて追加工ができます。

ローランおすすめポイント

当社代理店製品です。ご選定の際に、目的に応じた機器の選定やアプリケーション情報をご紹介させていただきます。

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