新型溶存酸素計 HD-960LR
新型溶存酸素計 HD-960LR
近年半導体の微細化や高性能化に伴い、半導体製造プロセスに使用される薬液が多様化し、薬液ごとの適切な管理が求められています。新型溶存酸素計は、半導体製造プロセスにおける薬液中の溶存酸素を高精度に連続モニタリングします。センサー内部に新たな機構を追加したことで、電解液の変質を抑えられ、アンモニア水や特定の有機溶媒にも対応できるようになりました。
- メーカー
- 株式会社堀場製作所
- カテゴリ
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- 環境用分析・計測機器
製品の特長
〇従来モデルでは長寿命測定が固難であった、下記の薬液中の溶存酸素濃度の計測が可能に。
・アンモニア水 (1％）＠常温
・沸点が水より高い有機溶媒
〇半導体プロセスで使用される薬液種の増加に対応し、重要な管理パラメータである溶存酸素濃度の管理を実現。
ローランおすすめポイント
当社代理店製品です。ご選定の際に、目的に応じた機器の選定やアプリケーション情報をご紹介させていただきます。
取扱い対象エリア
- 栃木県：全域(本社/HONDAセールスオフィス/那須営業所/群馬営業所/太田営業所)
- 群馬県：全域(群馬営業所/太田営業所)
- 茨城県：全域(茨城営業所)
- 埼玉県：全域(太田営業所/群馬営業所/茨城営業所/HONDAセールスオフィス)
- 福島県：南部(那須営業所)
